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本发明涉及LiNbO3集成光学器件技术领域，具体涉及一种LiNbO3集成光学器件用光纤支座的划切方法。该方法具有如下步骤：提供光纤支座基片及具有图案的掩膜版，并通过光刻于所述光纤支座基片一侧表面复制出所述图案；基于所述光纤支座基片上的图案，...
该专利属于上海亨通光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海亨通光电科技有限公司授权不得商用。

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