下载一种平板X射线探测器的技术资料

文档序号:7029615

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本发明提供一种平板X射线探测器及其制备方法,所述平板X射线探测器包括衬底、TFT、光电二极管和电容。其中,所述衬底包括由多个TFT和光电二极管组成的阵列区域;TFT的底栅和电容的下电极制作在衬底上方;光电二极管位于电容的上方,电容的上电极为...
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