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气体净化装置及气体净化方法制造方法及图纸
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文档序号:701353
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本发明的气体净化装置,包括填充了气体净化剂的净化器,将气体送入所述净化器,通过变温吸附法去除气体中的杂质;确定气体净化剂的量A,使得该气体净化剂的量A的二分之一量所具有的杂质去除量与1个净化工序中应净化气体中的杂质总量相等,填充到所述净化器...
该专利属于大阳日酸株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大阳日酸株式会社授权不得商用。
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