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在此提供一种卡盘设备，该卡盘设备包括：中心壳体，盘的内周表面被固定在中心壳体上；爪，形成在中心壳体中并运动到中心壳体的内侧，以在安装盘时弹性地支撑盘的内周表面，当外力使爪变形时，爪的下端形成为与旋转构件隔开，以与旋转构件具有弹性限制间隙，使...
该专利属于三星电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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