下载大容积高真空容器内压强自动控制装置的技术资料

文档序号:7004844

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本实用新型公开了一种大容积高真空容器内压强自动控制装置,包括有压强控制器,有压强传感器、电控微调阀与压强控制器电连接,压强传感器与真空系统连通,电控微调阀安装在真空系统的进气管道上,还包括有计算机系统,计算机系统的D/A输出卡电连接有功率继...
该专利属于中国科学院等离子体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院等离子体物理研究所授权不得商用。

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