下载氮化硅发热体及其制作方法的技术资料

文档序号:7002330

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本发明提供一种氮化硅发热体及其制作方法,该氮化硅发热体包括发热源及发热本体,该发热源为钨丝,所述发热本体的组份及含量如下,按重量份计:氮化硅88~92份,三氧化二铝6.5~8.5份,三氧化二钇1.5~3.5份。本发明提供的氮化硅发热体及其制...
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