下载一种真空镀膜装置的技术资料

文档序号:7000983

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一种真空镀膜装置,包括发射镀膜介质的电子枪,主动伞齿轮安装在电机轴上,从动伞齿轮安装在伞架上,安放镀膜产品的夹具安装在从动伞齿轮的轴上。在主动伞齿轮的驱动下,伞架绕垂直轴线旋转,安装镀膜产品的夹具随伞架旋转的同时绕从动伞齿轮的轴线自转,一次...
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