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本发明涉及一种具有真空硅片箱的光刻设备，包括光源，真空掩模台系统，投影物镜系统，真空掩模传输系统，真空工件台系统，真空硅片传输系统，其中真空硅片箱与真空曝光室真空连接，使更换硅片更加快捷，提高了光刻设备的效率。...
该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。

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