下载酸洗除杂方法、设备及多晶硅提纯方法、系统的技术资料

文档序号:6988204

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本发明的酸洗除杂方法,用于冶金硅出炉后再进行熔炼提纯之前的杂质 去除,包括步骤:减缓所述冶金硅出炉的冷却过程,在将冷却后的所述冶金 硅破碎至一定颗粒度的硅粉之后,选用多种酸按照一定顺序对所述硅粉进行 酸洗操作。本发明还公开了一种酸洗除杂设备...
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