下载一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶薄片及其切割方法的技术资料

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本发明公开了一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶薄片的切割方法,所述硅晶薄片切割工艺方法包括单晶圆形硅棒工艺和单晶方形硅棒金刚石线切片工艺,所述单晶圆形硅棒工艺是将检验合格的圆形硅棒用开方机进行开方滚磨,平磨抛光后获得镜面效果;所述单晶方形硅...
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