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一种场效应太阳能电池制造技术
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文档序号:6982218
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一种场效应太阳能电池,涉及一种半导体太阳能电池。从下至上依次设有底部欧姆电极、衬底、本征半导体材料层、透明绝缘层、透明导电膜,在本征半导体材料层表面一侧或两侧通过刻蚀和溅射工艺制成侧面欧姆电极,在透明导电膜上制作金属栅极,金属栅极外接电源,...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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