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激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及其方法制造方法及图纸
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文档序号:6979577
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本发明涉及激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及方法,高频率短脉冲激光器的输出端布置有电动光闸,电动光闸的输出端设置有电动扩束镜,电动扩束镜的输出端依次布置有45度全反射镜,45度全反射镜的输出端布置有振镜和扫描场镜,扫描场镜正对于三轴...
该专利属于苏州德龙激光有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州德龙激光有限公司授权不得商用。
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