下载激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及其方法的技术资料

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本发明涉及激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及方法,高频率短脉冲激光器的输出端布置有电动光闸,电动光闸的输出端设置有电动扩束镜,电动扩束镜的输出端依次布置有45度全反射镜,45度全反射镜的输出端布置有振镜和扫描场镜,扫描场镜正对于三轴...
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