下载微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法的技术资料

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一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法,耦合器为四端口微波器件,包括主线和副线,四端口为主线输入端口、主线输出端口、副线耦合输出端口和副线隔离端口,以砷化镓衬底为基底,在基底上设置主线和副线,副线与主线耦合的部分设有MEMS固...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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