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提供了一种S/N比得到改善的使用低频介质阻挡放电的放电离子化电流检测器。在激发用高压电源(8)和放电电极(5)之间配置电流检测器(20)，以检测由所产生的等离子引起的以脉冲形式流动的放电电流。将电流检测器(20)的检测信号和来自用于放大离子...该专利属于株式会社岛津制作所;国立大学法人大阪大学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所;国立大学法人大阪大学授权不得商用。
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