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一种应用于晶片扩散掺杂的固定装置，该装置形状为薄长方体，所述装置包括石墨舟(1)、晶片固定区(2)、扩散材料放置区(3)和相互嵌套的上固定沿(4)和下固定沿；石墨舟(1)为一长方形平面凹台，边沿为上固定沿，石墨舟上固定沿(4)内框稍大于所述...该专利属于江西联创光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西联创光电科技股份有限公司授权不得商用。
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一种应用于晶片扩散掺杂的固定装置，该装置形状为薄长方体，所述装置包括石墨舟(1)、晶片固定区(2)、扩散材料放置区(3)和相互嵌套的上固定沿(4)和下固定沿；石墨舟(1)为一长方形平面凹台，边沿为上固定沿，石墨舟上固定沿(4)内框稍大于所述...