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本发明涉及一种光学位置测量设备，其用于检测扫描单元和计量用具的相对位置；扫描单元和计量用具可以沿着弯曲的测量方向彼此相对移动地布置。扫描单元具有至少一个反射器单元和探测器单元，其中反射器单元由第一波前校正器、射束方向逆转器和第二波前校正器构...
该专利属于W.霍尔扎普费尔;M.赫尔曼;K.森迪希所有，仅供学习研究参考，未经过W.霍尔扎普费尔;M.赫尔曼;K.森迪希授权不得商用。

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