温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种测量装置，其包括一第一芯片、一第一线路层、一第一加热元件、一第一应力感测器以及一第二线路层。第一芯片具有一第一导通孔及相对的一第一表面与一第二表面。第一线路层配置于第一表面。第一加热元件配置于第一表面并电连接第一线路层。第一应...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。