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一种投影物镜，用于把位于所述投影物镜的物平面内的图案投射到所述投影物镜像平面内，从所述物平面开始沿光轴依次设置：具有正光焦度的第一透镜组；具有正光焦度的第二透镜组；光焦度接近零的第三透镜组；具有正光焦度的第四透镜组。本发明使用较少的镜片完成...
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