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本发明提出一种微机电电容式麦克风，其振膜为一刚性振膜，并设置于一弹性元件上，使得刚性振膜得以借弹性元件的弹性作用平行于一背极板的法向量方向位移，从而获致刚性振膜与背极板间的电容变化。...
该专利属于国立清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过国立清华大学授权不得商用。

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