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一种低熔点金属旋转靶材及生产技术制造技术
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文档序号:6957571
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本发明涉及一种低熔点金属旋转靶及生产技术,该旋转靶由一个金属衬管和一个同心包围的金属外管(靶材)组成。该旋转靶衬管材料的熔点高于1000℃,靶材材料的熔点低于800℃,靶材和衬管紧密结合。依照本发明设计的方式,衬管和一个圆筒形铸模以同轴心的...
该专利属于苏州晶纯新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶纯新材料有限公司授权不得商用。
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