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本发明提出一种用于调焦调平测量系统的零位调整装置，包括：光源、投影狭缝、反射镜组、探测狭缝和光电探测器，所述反射镜组包括入射端的第一反射镜，以及出射端的第二反射镜；由所述光源发出的光束，垂直入射所述投影狭缝，接着光束经由第一反射镜反射到测量...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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