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光纤耦合波导光栅传感器及其制备方法技术
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文档序号:6952145
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光纤耦合波导光栅传感器及其制备方法,属于纳米生物传感器器件技术领域。光纤耦合波导光栅传感器,其在光纤的端面处镀有介质波导层,在介质波导层上制有光刻胶光栅,介质波导层与光刻胶光栅形成波导光栅结构位于光纤端面上。通过利用紫外激光干涉光刻方法在光...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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