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该发明属于射频通信及微电子机械元器件中带双驱动电极的射频微机电(RF?MEMS)开关。包括开关基座，设于基座上的绝缘层，带输入、输出微带线、固定电极和应力释放孔的悬臂式开关键组件，设于绝缘层上且正对悬臂式开关键下方的吸合电极及正对悬臂式开关...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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