下载氢氧焰等离子体提纯冶金级多晶硅粉体的方法的技术资料

文档序号:6936246

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种氢氧焰等离子体提纯冶金级多晶硅粉体的方法,该方法包括以下步骤:(1)将冶金级硅粉进行超声清洗后,室温下晾干,得到预处理硅粉;(2)将预处理硅粉放入氢氧焰等离子体提纯装置内的送料槽中;(3)打开所述氢氧焰等离子体提纯装置内的氢氧...
该专利属于兰州大学所有,仅供学习研究参考,未经过兰州大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。