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本发明涉及用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器。光声气体检测器包括集成光源、红外滤波器和声传感器。所述光源、滤波器和声传感器能集成在一个或多个半导体衬底上，如硅。处理电路同样也能集成在该衬底上。另外，光源、滤波器和声传感器能集成在单一...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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