下载一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺的技术资料

文档序号:6917163

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本发明提出一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺,其工艺步骤包括:对白斑单晶硅片进行高温处理,使所述白斑单晶硅片表面残留的杂质挥发;对高温处理后的所述白斑单晶硅片进行制绒工艺,去除单晶硅片表面的白斑。本发明提供的制绒白斑单晶硅片的返工工艺,通过对白...
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