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本发明提供一种曝光装置，能够对与产生在工件基板上的应变变形极力对应的掩模图形像进行投影。本发明的曝光装置具备应变变形形成机构(17)，该应变变形形成机构(17)包括：平行平面板(31)，设置在将掩模图形(13’)投影到工件基板(14)的投影...
该专利属于株式会社拓普康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社拓普康授权不得商用。

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