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用于多晶硅副产物四氯化硅处理的聚集器制造技术
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下载用于多晶硅副产物四氯化硅处理的聚集器的技术资料
文档序号:6893165
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本实用新型提出一种用于多晶硅副产物四氯化硅处理的聚集器,包括:多个聚集管,所述多个聚集管依次相连以限定出以曲线形式延伸的聚集腔,其中所述多个聚集管中的第一个聚集管的自由端用作聚集器入口且最后一个聚集管的自由端用作聚集器出口。根据本实用新型的...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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