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一种用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源，属于金属材料分析-辉光光谱分析技术领域。包括阳极筒、阴极盘、放电腔和石英窗、气路、光纤装置五部分。与激光位移传感器联用，进行在线实时测量样品溅射深度；产生辉光放电的部分是尾部为锥形、头部为筒形...
该专利属于钢铁研究总院所有，仅供学习研究参考，未经过钢铁研究总院授权不得商用。

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