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一种有隔热屏节能型多晶硅还原炉制造技术
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文档序号:6871466
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本实用新型涉及一种有隔热屏节能型多晶硅还原炉,该还原炉包括钟罩型炉壁,设置在炉壁下方的底盘,设置在底盘上的电极和安装在电极上的硅芯棒,底盘上还设置有原料气体进入口和尾气排气口,其特征是:上述底盘上设置有一个与炉壁同心且将硅芯棒罩住的钟罩式隔...
该专利属于宁夏阳光硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏阳光硅业有限公司授权不得商用。
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