下载沉积蒸发源的技术资料

文档序号:6868175

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本发明涉及一种沉积蒸发源,其包括加热装置,加热板和蒸发材料,其中该加热板上设置有多个凹槽,且配置该加热板上的多个凹槽使得位于该加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于该加热板边缘部分的凹槽的体积之和,其中该蒸发材料被放置于该凹槽内。根据本发明...
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