下载VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法的技术资料

文档序号:6867982

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本发明公开了一种制备一维无机纳米锥状结构材料的方法。该方法包括如下步骤:1)将前驱物和金属催化剂混合后置于容器中,并将其放入真空管式炉的高温区,将衬底置于低温区,使炉腔内呈无氧状态,然后通入非氧化性保护气体使所述炉腔内的压强不高于1x104...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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