下载降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构的技术资料

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一种降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构,该铜互连结构包括基底以及位于基底上的低介电常数材料层,该低介电常数材料层具有沟槽,该沟槽的底壁、侧壁以及低介电常数材料层上覆盖有阻挡层,所述沟槽内填充有金属铜,溢出所述沟槽的金属铜形成块铜,...
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