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本发明提供一种真空红外线退火炉，包括样品架、红外线光源、绝热陶瓷环、样品托、测温装置以及真空腔；其中，样品架位于真空腔内，所述红外线光源位于所述样品架的底部，所述样品架的顶端有一开口，所述绝热陶瓷环安放在所述样品架顶端开口的四周；用于安放样...该专利属于中国科学院物理研究所;北京埃德万斯离子束技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所;北京埃德万斯离子束技术研究所授权不得商用。