下载与卷对卷技术兼容的大面积有机薄膜晶体管列阵制备方法的技术资料

文档序号:6865091

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本发明涉及的与卷对卷技术兼容的大面积有机薄膜晶体管列阵的制备方法,其步骤包括依次在衬底上制作栅极、绝缘介电层、有机小分子膜、源电极和漏电极;在绝缘介电层上制备有机小分子膜的步骤是:将衬底下表面粘在真空蒸镀系统滚筒上,在真空度为1×10-3~...
该专利属于国家纳米科学中心所有,仅供学习研究参考,未经过国家纳米科学中心授权不得商用。

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