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本发明公开了一种属于新材料与太阳能技术领域的硅纳米洞阵列光伏材料及光伏电池制备技术。本发明将金属催化硅腐蚀技术与光刻技术或纳米自组装技术相结合，研制出了一种大面积高度有序硅纳米洞阵列的制备方法。这种大面积有序硅纳米洞阵列结构具有优异的减反射...
该专利属于北京师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京师范大学授权不得商用。

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