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固态图像传感器的制造方法技术
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文档序号:6863169
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本发明公开了固态图像传感器的制造方法,该制造方法用于制造在基板上具有像素的传感器,各像素包含光电转换器、电荷-电压转换器和用于形成用于将光电转换器中的电荷传送到电荷-电压转换器的沟道的栅极,该方法包括:将离子注入到基板的要形成光电转换器的目...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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