下载光源装置及具有该光源装置的曝光机的技术资料

文档序号:6856688

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本实用新型公开了一种光源装置及具有该光源装置的曝光机,光源装置包含光源模组及高度调整机构,高度调整机构包括固定架、活动架及气缸,活动架供光源模组安装并能带动光源模组相对于固定架上下移动,气缸包含设置于固定架上的缸体,及穿设于缸体内并与活动架...
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