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本发明涉及一种衬底涂层及其形成方法。所述衬底涂层包含：第一层，其用于附着于衬底上，所述第一层的成分至少包含硅含量丰富的碳，其中硅含量约等于或大于碳含量；及第二层，其附着于所述第一层上，所述第二层的成分至少包含掺杂氟的类金刚石碳。本发明所提供...
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