下载研磨垫及使用了研磨垫的研磨装置的技术资料

文档序号:6846884

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本发明涉及研磨垫及使用了研磨垫的研磨装置。该研磨垫用于研磨玻璃板,其中,具备第一浆液供给孔,该第一浆液供给孔是用于向该研磨垫的研磨面与所述玻璃板的被研磨面之间供给浆液的浆液供给孔,且在该研磨面的中心贯穿该研磨垫,所述研磨面通过从中心朝外侧形...
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