下载包含硅掺杂的氧化锰基电阻型存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:6846413

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本发明属于半导体存储器技术领域,具体公开一种包含硅掺杂的氧化锰基电阻型存储器及其制备方法。所述氧化锰基电阻型存储器包括上电极、下电极以及设置在上电极和下电极之间的MnSixOy存储介质层,其中,0.001<x≤2,2<y≤5。MnSixOy...
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