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准光子晶体图形蓝宝石衬底及其制造方法、发光二极管及其制备方法技术
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文档序号:6841976
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本发明涉及蓝宝石衬底、其制造方法,采用这种蓝宝石衬底的发光二极管及其制备方法,所述蓝宝石衬底表面具有准光子晶体结构的图形结构,所述图形结构中露出的蓝宝石衬底C面在整个蓝宝石衬底面积中所占比例低。所述蓝宝石衬底,表面具有准光子晶体结构的图形结...
该专利属于江苏晶瑞半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏晶瑞半导体有限公司授权不得商用。
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