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一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置，包括隔热底座、电加热线圈、不锈钢板、耐腐粘接胶层和制绒槽体，在隔热底座上设有布置电加线圈的凹槽，凹槽的深度大于电加线圈的直径，电加热线圈布设在凹槽中，不锈钢板设置在隔热底座的上方，制绒槽体通过耐腐粘接胶层与...
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