下载用于非破坏性测量薄层厚度的测量探头的技术资料

文档序号:6826475

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本发明涉及用于非破坏性测量薄层厚度的测量探头。具体地,提供了一种用于对物体(16)上的薄层的厚度进行非破坏性测量的测量探头,其具有:测量头(26),所述测量头(26)包括用于接触物体(16)的测量表面(17)的至少一个传感器元件;以及支撑装...
该专利属于赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所授权不得商用。

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