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本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡...该专利属于上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司授权不得商用。