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本实用新型涉及键合机防沉锁紧装置,主要包括压具系统和压块系统,压具系统为对称结构且位于压块系统的两侧,压块系统中设有锁紧结构。与现有技术相比,本实用新型请求保护的键合机防沉锁紧装置,利用锁紧结构的斜契块与滚轮组合的运动结构能有效防止键合台的...该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及键合机防沉锁紧装置,主要包括压具系统和压块系统,压具系统为对称结构且位于压块系统的两侧,压块系统中设有锁紧结构。与现有技术相比,本实用新型请求保护的键合机防沉锁紧装置,利用锁紧结构的斜契块与滚轮组合的运动结构能有效防止键合台的...