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本发明公开了一种基于平面电容的六自由度位移测量方法。由移动极板和固定极板组成；固定极板上分布有正方形的电容电极阵列；移动极板上分布有八个矩形传感电容电极；八个传感电容电极分成四组，每组的两个电极在测量方向存在1/4周期位置差，输出信号有90...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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