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用于EB或EUV平版印刷的化学放大负性抗蚀剂组合物和图案化方法技术
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下载用于EB或EUV平版印刷的化学放大负性抗蚀剂组合物和图案化方法的技术资料
文档序号:6783872
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提供一种化学放大负性抗蚀剂组合物,包括(A)碱可溶性聚合物,(B)酸产生剂,和(C)作为碱性组分的含氮化合物,该聚合物(A)在酸催化剂存在下变为碱不溶性。在侧链上具有仲或叔胺结构的碱性聚合物用作组分(A)和(C)。由EB或EUV平版印刷方法...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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