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本实用新型涉及一种真空治具，包括上夹具、下夹具,上夹具与下夹具固定连接，其特征是下夹具设有真空槽，真空槽一端在下夹具侧面设置抽气孔，真空槽另一端位于与上夹具对应的内表面。上夹具通过安装孔固定安装在加工设备上，下夹具通过安装孔固定安装在加工设...
该专利属于恒诺微电子(嘉兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恒诺微电子(嘉兴)有限公司授权不得商用。

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