温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种化学机械研磨设备，用于研磨晶圆，包括：至少一个转台，其上方固定放置所述晶圆；修整器；研磨垫，其研磨面朝下；研磨头；机械臂；以及研磨垫更换装置，包括废旧研磨垫收集装置和新研磨垫供应装置。本实用新型所述化学机械研磨设备，在研磨...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。